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サブミクロンデバイス I・II

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著者	小柳光正
出版社	丸善出版
ジャンル	専門書
ISBNコード	9784621043523 9784621043950
登録日	2018/02/10
リクエストNo.	66441

リクエスト内容

サブミクロンデバイス I
http://pub.maruzen.co.jp/book_magazine/book_data/search/4621043528.html
VLSIは、サブミクロン時代に入ったが、二次元効果や高電界化の問題、高集積化されたデバイスの信頼性の確保と問題はつきない。本書はショートチャネルMOSトランジスタの動作原理から説き起こし、基礎から本格的に解説。

サブミクロンデバイス II
http://pub.maruzen.co.jp/book_magazine/book_data/search/4621043951.html
VLSIデバイスは、ここにきて、数々の深刻な問題と直面することになった。本書Iの続編として、ゲート絶緑膜の信頼性、ホットキャリア注入、ソフトエラーなど、現在抱えている最先端の技術課題について根底から詳説している。