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スパッタ技術

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著者	和佐　清孝,早川　茂
出版社	共立出版
ジャンル	専門書
ISBNコード	9784320084773
登録日	2010/11/12
リクエストNo.	51904

リクエスト内容

本書は、スパッタ技術の世界的権威である著者らの基礎から実用に至る研究実績を基にして、実際に役立つ最先端のスパッタ技術を収録したもので、超電導を始めとした21世紀への材料開発に不可欠、必携の書である。セラミックス高温超電導体の薄膜化など最新の具体的事例を数多くとりあげスパッタの基礎から応用に至る技術を詳細かつ平易に解説。