プラズマプロセシングの基礎

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著者 Brian　N.Chapman　岡本　幸雄
出版社 電気書院
ジャンル 専門書
ISBNコード 9784485661185
登録日 2010/10/14
リクエストNo. 51600
リクエスト内容
プラズマ生成の基礎からスパッタ、エッチングによる成膜やその物理現象を丁寧に書かれた名著。ぜひ復刊を。

投票コメント （全2件）

yosix
yosix
プラズマを勉強したいから。

2011/07/03

雪
雪
読んでみたい。

2010/10/16

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ニュース

2010/10/14
『プラズマプロセシングの基礎』（Brian　N.Chapman　岡本　幸雄）の復刊リクエスト受付を開始しました。

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