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プラズマプロセシングの基礎
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得票数 2票
| 著者 | Brian N.Chapman 岡本 幸雄 |
|---|---|
| 出版社 | 電気書院 |
| ジャンル | 専門書 |
| ISBNコード | 9784485661185 |
| 登録日 | 2010/10/14 |
| リクエストNo. | 51600 |
リクエスト内容
プラズマ生成の基礎からスパッタ、エッチングによる成膜やその物理現象を丁寧に書かれた名著。ぜひ復刊を。
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読後レビュー
NEWS
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2010/10/14
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