4 票
著者 | 阿部 孝夫 |
---|---|
出版社 | 培風館 |
ジャンル | 専門書 |
ISBNコード | 9784563036058 |
登録日 | 2005/12/23 |
リクエストNo. | 32018 |
リクエスト内容
「アドバンストエレクトロニクスシリーズ」 I-5
参照 : http://www.washin.co.jp/honya/outline/4-563-03605-6.htm
本書は、現在までのシリコン結晶の大直径化およびデバイスプロセスにおける高度な品質管理技術の歴史を振り返りながら、単結晶シリコン製造法とウェーハ加工の実際およびデバイスプロセス中に発生する種々の技術的問題を検討し、さらに将来のデバイスに要求されるウェーハ開発のための技術について詳述した解説書である。
技術開発の最前線において活躍してきた著者の観察と分析は示唆に富み、単結晶製造・ウェーハ加工に携わる人々はもとより、広く電子デバイスの研究・開発にかかわる研究者・技術者に必携の書である。
[主要目次]
1、シリコン結晶と技術革新-過去から現在まで-
2、なぜシリコン単結晶が必要か
3、シリコン単結晶成長
4、ウェーハ加工
5、シリコン融液からの結晶成長
6、添加不純物の偏析現象
7、軽元素の偏析と結晶中の振る舞い
8、酸素析出
9、熱処理と転位(スリップ)の発生
10、重金属の偏析と結晶中の振る舞い
11、点欠陥と二次欠陥
12、シリコンウェーハの表面
13、ULSIのための貼り合わせSOI技術
投票コメント
全4件
-
世界の半導体結晶製造に多大な影響を与えた著者の知識・経験が詰め込まれた一冊であると思っています。是非、復刊お願いします。 (2007/05/07)GOOD!0
-
シリコンのノウハウが沢山詰まった書物です。GOOD!0
私には、参考書として是非必要です。
宜しくお願いします。 (2007/02/07) -
技術開発の最前線において活躍してきた著者の観察と分析は示唆に富み、単結晶製造・ウェーハ加工に携わる人々はもとより、広く電子デバイスの研究・開発にかかわる研究者・技術者に必携の書である。 (2006/02/27)GOOD!0
-
半年程前に生協で見かけたのを最後にGOOD!0
いつの間にか絶版になってました。
人から借りて拝見した折り、絶対的に必要だし、
是非欲しいと思いました。 (2005/12/23)
読後レビュー
NEWS
-
2005/12/23
『シリコン 結晶成長とウェーハ加工』(阿部 孝夫)の復刊リクエスト受付を開始しました。
復刊実現の投票はあなたの投票から。
復刊リクエスト投票であなたの思いを形にしましょう!
たか